Die Plattform integriert einen Temperatursensor (PT1000) ein Heizelement und
ineinandergreifende Elektrodenstrukturen (IDES) in Platin-Dünnfilm auf einem Keramiksubstrat.
Heizung und Sensor sind mit einer Isolationsglasschicht bedeckt. Typische Anwendungsbereiche
sind Gassensoren und physikalischen Sensoren.
