Dry Etching Technology for Semiconductors - Kazuo Nojiri Gebunden

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Bücher EAN 9783319102948

Dry Etching Technology for Semiconductors - Kazuo Nojiri Gebunden

Name: Dry Etching Technology for Semiconductors - Kazuo Nojiri Gebunden
Brand: Kazuo Nojiri
SKU: 9783319102948
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Hersteller: Kazuo Nojiri · MPN: M0331910294X

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Produktfakten auf einen Blick zur EAN 9783319102948

Hersteller: Kazuo Nojiri
EAN: 9783319102948
Hersteller-Artikelnr.: M0331910294X
Kategorie: Bücher
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Produktbeschreibung

This book is a must-have reference to dry etching technology for semiconductors which will enable engineers to develop new etching processes for further miniaturization and integration of semiconductor integrated circuits. The author describes the device manufacturing flow and explains in which part of the flow dry etching is actually used. The content is designed as a practical guide for engineers working at chip makers equipment suppliers and materials suppliers and university students studying plasma focusing on the topics they need most such as detailed etching processes for each mat

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