Wohl das auffälligste Charakteristikum der Entwicklung der mo dernen Elektronik ist der
kontinuierliche Trend zu einer Mi niaturisierung der Bauelemente und zu einer Integration der
Schaltungen in einem einzigen Halbleiterkristall. Der Einfluß der integrierten Schaltungen ist
in zunehmendem Maß in nahezu allen Bereichen des wirtschaftlichen Lebens zu spüren. Trotz dem
ist in deutscher Sprache nur wenig Literatur erhältlich die als Einführung in das Gebiet der
integrierten Schaltungen geeignet wäre. Mit dem vorliegenden Skriptum wird versucht diesem
Mangel abzuhelfen. Das Skriptum ist in erster Linie zum Gebrauch neben einer Vor lesung gedacht
die sich über zwei Semester in zwei Wochenstun den an Studierende der Elektrotechnik etwa ab
dem 6. Semester wendet. Da das Skriptum möglichst wenig Bezug auf weiterführen de Literatur
nimmt sollte es auch für diejenigen geeignet sein die beruflich an integrierten Schaltungen
interessiert sind und über einige Grundkenntnisse der Festkörperphysik ver fügen. Das Skriptum
befaßt sich vorwiegend mit den technologischen Aspekten der Herstellung integrierter
Schaltungen. Da aber ei ne enge Beziehung zum Schaltungsentwurf besteht werden auch die
Schaltungskonzepte beschrieben die für integrierte Schal tungen von besonderer Wichtigkeit
sind oder (wie die superinte grierten Schaltungen Kap. 4.4) durch sie überhaupt erst reali
sierbar werden. Gemäß seiner überra~enden wirtschaftlichen Be deutung nimmt die Behandlung des
Halbleiters Silizium den bei weitem größten Teil des Skriptums ein. Daneben werden auch In
tegrationsformen auf Galliumarsenid und magnetischen Werkstof fen gestreift (Kap. 7) die für
zUkünftige Anwendungen gute Aussichten bieten.
