In dieser Arbeit wird ein laserbasiertes Verfahrens zur Herstellung piezoelektrischer Schichten
aus Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) entwickelt. Die konventionellen Prozesse zur thermischen
Nachbehandlung der Schichten werden dabei durch laserbasierte Trocknung Pyrolyse und
Kristallisation ersetzt. Wesentliche Vorteile der Lasernachbehandlung sind ein ortsselektiver
Energieeintrag der die Anwendung auf temperaturempfindlichen Substraten und Baugruppen
ermöglicht sowie die Inline-Fähigkeit.
