Zur Analyse von Fehlerquellen in Strahlengängen von Weißlichtinterferometern werden
Untersuchungen auf Basis geometrischer Strahlverfolgung durchgeführt. Mittels dreidimensionaler
Modelle realer Strahlengänge in einer virtuellen Umgebung werden über Strahlverfolgung die
optischen Wege im System protokolliert. Unter Beachtung der notwendigen Methoden zur
Berücksichtigung der Weißlichtinterferenz und der Kohärenz-Bedingungen werden Simulationen von
Messvorgängen durchgeführt.
