In der vorliegenden Arbeit wird ein neuartiger 3D-Sensor zur inline Form- und Lageerkennung von
Mikrobauteilen bei der Montage hybrider Mikrosysteme entwickelt. Dazu wird zunächst der Stand
der Technik bei der Montage hybrider Mikrosysteme und der heute verwendeten Prozessüberwachung
in diesem Umfeld betrachtet. Dabei zeigt sich dass im Hinblick auf das generelle Ziel einer
Automatisierung der Montagevorgänge ein entsprechender Sensor zur Aufnahme von 3D-Geometrien
der zu montierenden Mikrobauteile fehlt. Eine Untersuchung vorhandener Systeme und Prinzipien
zur 3D-Erfassung von Mikrobauteilen bringt Aufschluss über die prinzipiellen Möglichkeiten
dreidimensionale Geometrien aufzunehmen. Daraus wird in Verbindung mit den schon im Stand der
Technik dargestellten Möglichkeiten der Faseroptik die Idee des faseroptischen
Streifenprojektionssystems entwickelt und ein entsprechendes Konzept zum Aufbau eines solchen
Systems ausgearbeitet. Zur Umsetzung dieses Konzeptes werden daran anschließend die benötigten
Komponenten bewertet und ausgewählt. Beim Aufbau des Systems zeigen sich dann deutlich die
Schwächen der Übertragung der Streifenbilder über die Endoskope. Daher müssen speziell
angepasste Bildverarbeitungsalgorithmen entwickelt werden die diese Schwächen kompensieren und
mit diesem System die 3D-Aufnahme von Mikrobauteilen ermöglichen.
