EAN: 9783961473656

ENTWICKLUNG VON AL(1-X)SC(X)N-BASIERTEN BAW-KOM...

BAW-Resonatoren erfüllen die kritischen Anforderungen  die für die mobile Kommunikation nötig
sind und bieten hochselektive Filteranwendungen. Dennoch stellen Frequenzbänder mit großer
Bandbreite eine Herausforderung für die moderne BAW-Technologie dar. In dieser Arbeit wurden
BAW-Resonatoren des Spiegel-Typs aus AlScN mit hohen Sc-Konzentrationen von bis zu 35 At.-% und
fortgeschrittene BAW-Konzepte untersucht  um den geforderten Bandbreiten aktueller und
zukünftiger Mobilfunkstandards gerecht zu werden. Es war möglich  einen optimierten
Prozessablauf mit hoher Güte und hoch-piezoelektrischen AlScN-Schichten zu entwickeln. Darüber
hinaus wurde die optimierte Dünnschicht in BAW-Resonatoren integriert und hinsichtlich
verbesserter Bandbreite und hoher Güte durch geeignete Design-Methoden maximiert. Die
optimierten AlScN-basierten Resonatoren wurden schließlich eingesetzt  um die Leistung von rein
akustischen BAW-Filtern für kritische Frequenzen bis 5 GHz zu demonstrieren. Die Verbesserung
des Materials und die Erarbeitung eines Materialdatensatzes bot zudem neue Möglichkeiten zur
Untersuchung fortgeschrittener Filterkonzepte wie akustisch gekoppelte Resonatoren  ein
konfigurierbarer Filter-Ansatz und die Anwendung neuartiger LC-Hybrid-Filtertopologie. Die
entwickelten Resonatoren und Methoden forcieren schließlich die Anwendung von hoch koppelndem
AlScN für verbesserte und fortschrittliche BAW-Technologien  die den zunehmenden Anforderungen
an breitbandige Filtertechnologien gewachsen sind.

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