Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology - Gerhard Franz Gebunden

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Bücher EAN 9783540858485

Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology - Gerhard Franz Gebunden

Name: Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology - Gerhard Franz Gebunden
Brand: Springer
SKU: 9783540858485

Hersteller: Springer

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Produktfakten auf einen Blick zur EAN 9783540858485

Hersteller: Springer
EAN: 9783540858485
Kategorie: Bücher
Farbe: Red
Gewicht: 1.247 kg
Breite: 39.624 mm
H├Âhe: 233.934 mm
L├ñnge: 155.956 mm

Technische Daten

Format: Illustriert
Erscheinungsdatum: 2009-04-30T00:00:01Z
Seitenzahl: 756
Sprache: Englisch

Produktbeschreibung

This monograph presents an up to date perspective of gas discharge physics and its applications to various industries. It starts from a comprehensive overview of the different types to generate plasmas by DC discharges capacitive and inductive radiofrequency coupling helicon waves including electron cyclotron resonance and ion beams. To compare these theories with inert plasmas a fundamental description of plasma diagnostics is presented on the basis of four prominent methods and extended to reactive plasmas.The second part extensively deals with the interaction of these plasmas with surfa

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