Die völlig neubearbeitete Auflage des ersten umfassenden Lehrbuchs der Mikrosystemtechnik
berücksichtigt die neuesten Trends dieses sich rasch entwickelnden Gebietes der
Ingenieurwissenschaften. Insbesondere die Kapitel zur Silizium- und LIGA-Technik wurden stark
erweitert. Neu hinzugekommen sind anwendungsbezogene Aspekte in der Medizintechnik Galvanik
und Lithographie. Das Buch spricht überwiegend fortgeschrittene Studenten der
Ingenieurwissenschaften an die einen fundierten Einstieg in dieses aktuelle Forschungsthema
suchen. Auch gestandene Fachleute können sich hier einen guten Überblick über die theoretischen
und experimentellen Grundlagen der Mikrosystemtechnik verschaffen.
