In diesem Buch werden zunächst die verschiedenen Typen von Plasmen ausführlich beschrieben:
Gleichstrom-Entladung kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz die
magnetfeldunterstützte Anregung mittels Heliconwellen schliesslich noch Ionenstrahlen. Breiten
Raum nimmt dann die Plasmadiagnostik ein die in einem separaten Kapitel mit vier Methoden
exemplarisch vorgestellt wird. Daran anschliessend erfolgt eine umfassende Darstellung der
beiden modernen Verfahren Sputtern und Trockenätzen mit denen heute Oberflächen durch
Beschichten und gezieltes Abtragen auf vielfältige Weise modifiziert werden. Besondere
Aufmerksamkeit wird reaktiven Verfahren und den dort auftretenden Reaktionsmechanismen aber
auch der Ionenstrahlmethode gewidmet. Zahlreiche Anwendungsbeispiele sind in den Text
eingestreut. Für die Neuauflage wurde das Buch vollständig neu bearbeitet und aktualisiert.
Hinzu kamen neue Kapitel über Plasmadiagnostik und hochdichte sowie induktiv-gekoppelte
Plasmen.
