Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik - Gerhard Franz Kartoniert (TB)

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Bücher EAN 9783642622847

Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik - Gerhard Franz Kartoniert (TB)

Name: Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik - Gerhard Franz Kartoniert (TB)
Brand: Gerhard Franz
SKU: 9783642622847

Hersteller: Gerhard Franz · MPN: M03642622844

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Produktfakten auf einen Blick zur EAN 9783642622847

Hersteller: Gerhard Franz
EAN: 9783642622847
Hersteller-Artikelnr.: M03642622844
Kategorie: Bücher
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Produktbeschreibung

In diesem Buch werden zunächst die verschiedenen Typen von Plasmen ausführlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz die magnetfeldunterstützte Anregung mittels Heliconwellen schliesslich noch Ionenstrahlen. Breiten Raum nimmt dann die Plasmadiagnostik ein die in einem separaten Kapitel mit vier Methoden exemplarisch vorgestellt wird. Daran anschliessend erfolgt eine umfassende Darstellung der beiden modernen Verfahren Sputtern und Trockenätzen mit denen heute Oberflächen durch Beschichten und gezieltes Abtragen auf vielfältige Weise modifi

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