Sensorik Systemeigenschaften von Silicium-Planar-Pellistoren - Robert Aigner Kartoniert (TB)

Silicium-Planar-Pellistoren sind miniaturisierte Gassensoren die mit Methoden der Si-Mikromechanik hergestellt werden. Brennbare Gase werden kalorimetrisch über die Reaktionswärme einer katalytischen Oxidation detektiert. Entscheidende Kriterien für den Einsatz der Sensoren sind die Nachweisgrenze und die Langzeitstabilität sowie die Eignung zur Gasidentifikation. Technologische Einflüsse auf diese Eigenschaften werden untersucht und Modelle zur theoretischen Beschreibung formuliert wodurch eine gezielte Dimensionierung erfolgen kann. Die durch technologische Weiterentwicklungen und neue Va rianten des Sensorbetriebs erreichten Verbesserungen werden anhand von Messergebnissen dargestellt.