Ergebnisse aus der Lasertechnik Einflussfaktoren auf die Emissionseigenschaften einer EUV Strahlungsquelle im Langzeitbetrieb - Jochen Vieker Kartoniert (TB)

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EAN 9783863598594

Ergebnisse aus der Lasertechnik Einflussfaktoren auf die Emissionseigenschaften einer EUV Strahlungsquelle im Langzeitbetrieb - Jochen Vieker Kartoniert (TB)

Name: Ergebnisse aus der Lasertechnik Einflussfaktoren auf die Emissionseigenschaften einer EUV Strahlungsquelle im Langzeitbetrieb - Jochen Vieker Kartoniert (TB)
Brand: Apprimus Verlag
SKU: 9783863598594

Hersteller: Apprimus Verlag

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Produktfakten auf einen Blick zur EAN 9783863598594

Hersteller: Apprimus Verlag
EAN: 9783863598594
Farbe: White
Gewicht: 0.223 kg
Breite: 9 mm
H├Âhe: 210 mm
L├ñnge: 148 mm

Produktbeschreibung

Für die Weiterentwicklung der EUV-Lithographie werden kompakte und langzeitstabile EUV-Strahlungsquellen für Forschungs- und Entwicklungsarbeiten benötigt. In dieser Arbeit wird eine EUV-Strahlungsquelle auf Basis einer Gasentladung - dem hohlkathodengetriggerten Pinchplasma - bezüglich der im Langzeitbetrieb relevanten Einflussfaktoren untersucht. Signifikante Verbesserungen der Leistungsfähigkeit werden demonstriert und ein technologischer Ausblick vorgestellt.

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