9783863598594 - Ergebnisse aus der Lasertechnik Einflussfaktoren auf die Emissionseigenschaften einer EUV Strahlungsquelle im Langzeitbetrieb - Jochen Vieker Kartoniert (TB)

EAN: 9783863598594

Produktdaten aktualisiert am: 15.11.2024
Hersteller: - Hersteller-ArtNr. (MPN): - ASIN: 3863598598 
Für die Weiterentwicklung der EUV-Lithographie werden kompakte und langzeitstabile
EUV-Strahlungsquellen für Forschungs- und Entwicklungsarbeiten benötigt. In dieser Arbeit wird
eine EUV-Strahlungsquelle auf Basis einer Gasentladung - dem hohlkathodengetriggerten
Pinchplasma - bezüglich der im Langzeitbetrieb relevanten Einflussfaktoren untersucht.
Signifikante Verbesserungen der Leistungsfähigkeit werden demonstriert und ein technologischer
Ausblick vorgestellt.

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