9783731501190 - Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung - Ansgar Waldbaur Kartoniert (TB)

EAN: 9783731501190

Produktdaten aktualisiert am: 30.01.2025
Hersteller: - Hersteller-ArtNr. (MPN): - ASIN: 3731501198 
In dieser Arbeit wurde eine auf einem Mikrospiegelarray basierende  maskenlose
Lithographieanlage entwickelt und aufgebaut  mit welcher Einzelbilder nahtlos nebeneinander
projiziert werden. Es wurden über Abformprozesse und direktlithographisch aus verschiedenen
Polymeren cm² große Mikrofluidikchips mit 50 µm Kanälen in wenigen Stunden hergestellt. Zudem
wurden biochemische Ligandenmuster in 256 verschiedenen Dichtegraden in wenigen Sekunden auf 5
mm² Fläche mit wenige µm großen Pixeln erzeugt.

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